無塵室的「等級」主要是用來判斷空氣中允許存在多少微粒。數字越低，等級越高，等級越高代表空氣中可容許的微粒數量越少，對環境潔淨度的要求也越嚴格。
目前國際上較常使用的是 ISO 14644-1 潔淨室等級標準。而業界常聽到的 Class 100、Class 1,000、Class 10,000，則是舊制美國聯邦標準 FS 209E 的說法。雖然 FS 209E 已經被 ISO 標準取代，但在台灣電子業、無塵室工程與耗材採購中，仍然經常被沿用。


一、Class 100、1,000、10,000 是什麼意思？
Class 等級主要是以 每立方英尺空氣中，粒徑 ≥0.5 μm 的微粒數量 來判斷。
簡單來說：


因此，Class 100 比 Class 1,000 更潔淨，Class 1,000 又比 Class 10,000 更潔淨。


二、Class 等級與 ISO 等級對照表
現在正式標準多以 ISO 等級表示，常見對照如下：


補充說明：
舊制 Class 是以「每立方英尺」計算，ISO 則是以「每立方公尺」計算。因為 1 立方公尺約等於 35.3 立方英尺，所以 Class 100 換算後，約等於每立方公尺 3,520 顆 ≥0.5 μm 微粒，也就是 ISO 5 等級。


三、常見無塵室等級適用範圍
不同產業與製程，會依照產品敏感度、污染風險與法規要求，選擇不同潔淨等級。

實務上，廠區不一定全部都需要做到最高等級。常見做法是依照作業風險分區
例如：核心製程區要求較高，外圍包裝區、走道、緩衝區則使用較低潔淨等級，這樣可以兼顧品質與建置成本。


四、無塵室等級越高，代表什麼？
無塵室等級越高，通常代表以下幾項要求也會提高：
  1. 空氣過濾效率更高
    需要搭配 HEPA 或 ULPA 等高效率濾網，降低空氣中的懸浮微粒。
  2. 換氣次數更多
    等級越高，通常需要更高的空氣循環量，讓微粒更快被帶走或過濾。
  3. 壓差控制更嚴格
    常見無塵室會維持正壓，避免外部髒空氣進入；特殊製程或生物安全環境則可能需要負壓設計。
  4. 人員與物料管理更嚴謹
    包含無塵衣、無塵鞋、手套、風淋室、傳遞箱、物料清潔等管理流程。
  5. 施工與驗收標準更高
    庫板隔間、天花、地板、門窗、管線穿孔、矽利康收邊等細節，都會影響最終潔淨度。


五、無塵室等級不是只看 FFU 或濾網
很多人會以為只要安裝 FFU 或 HEPA 濾網，就能達到某個無塵室等級。實際上，無塵室等級是整體系統的結果，包含：

也就是說，無塵室不是單一設備，而是由 工程設計、空調過濾、隔間材料、施工品質、使用管理與檢測驗收 共同組成的系統。


六、無塵室檢測常看哪些項目？


無塵室完成後，通常會透過專業檢測確認是否符合標準。常見檢測項目包括：
 

其中，判斷無塵室等級最核心的項目，是 空氣懸浮微粒測試。


七、常見誤解：Class 100 一定比 Class 10,000 好嗎？
從潔淨度來說，Class 100 確實比 Class 10,000 更乾淨。
但從實務規劃來說，並不是所有廠房都需要 Class 100。等級越高，代表建置成本、空調耗能、維護成本與管理要求也會提高。
因此，正確做法不是一味追求最高等級，而是依照以下條件評估：
  • 產品對微粒的敏感度
  • 製程污染風險
  • 法規或客戶要求
  • 人員與物料進出頻率
  • 空間大小與動線
  • 預算與後續維護成本
適合的潔淨等級，才是最符合成本效益的規劃方式。


八、結論


常見的 Class 100、Class 1,000、Class 10,000，雖然屬於舊制說法，但目前業界仍廣泛使用；若以國際標準來看，則可分別對應到 ISO 5、ISO 6、ISO 7。
在規劃無塵室時，除了確認目標潔淨等級，也需要同步考量空調系統、FFU配置、濾網等級、庫板隔間、地板材料、人員動線與後續檢測驗收。唯有整體規劃完整，才能真正達到穩定且可維持的潔淨環境。

無塵室的潔淨等級，並不是單靠某一項設備就能達成，而是需要從空間規劃、隔間工程、空調系統、FFU配置、濾網選用、人員防護到檢測驗收進行整合。
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